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本发明公开了检测高纯三氯氢硅中痕量杂质的系统和方法。该系统包括：PFA瓶，PFA瓶包括软塞，软塞适于密封PFA瓶，PFA瓶内适于容纳氢氟酸和硝酸的混合液；取样装置，取样装置包括取样管，取样管的一端与第一PFA针头相连，另一端与三氯氢硅管线相...
该专利属于江苏鑫华半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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