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本发明公开了一种集成波导互连装置及其制备方法，包括：金属波导组件，包括第一本体和容纳在所述第一本体中的金属波导；以及集成波导，包括第二本体，所述第二本体由多层利用陶瓷工艺制成的基板堆叠形成，所述第二本体内形成空气波导，所述空气波导的传输方向...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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