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本发明公开了电极外围具有两层横向结构的薄膜体声波谐振器制备方法，具体如下：衬底上依次沉积剥离层、压电层和第一电极，第一电极外围依次沉积两个第一下横向结构和两个第二下横向结构；第一电极表面淀积包裹第一电极、两个第一下横向结构和两个第二下横向结...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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