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本发明提供一种机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质，该方法包括：获取权重向量、各个晶圆对应的晶圆向量以及图案真实值；在各台机台中确定目标机台；获取每台目标机台对晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个图案真实值、...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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