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本发明公开一种用于提高MOCVD沉积中带材运动稳定性的弧形板，包括弧形板本体，其实施为一面为平面，另一面为弧面；所述弧形板本体的宽度方向的其中一个侧面上加工有若干间隔的、且朝向另一个侧面延伸的孔，所述孔用于插入控温热电偶；所述弧形板本体的弧...
该专利属于苏州新材料研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州新材料研究所有限公司授权不得商用。

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