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本发明公开了一种晶圆电镀用的等电势装置、晶圆电镀装置及电镀方法，属于半导体制造技术领域，该晶圆用于制备柔性砷化镓太阳电池，其特征在于，至少包括：不与电镀液发生化学反应，导电材料制成的背板；将晶圆固定于背板上的导电胶带；与所述背板连接的外接引...
该专利属于天津恒电空间电源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津恒电空间电源有限公司授权不得商用。

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