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一种MEMS扫描镜系统包括具有陶瓷主体的衬底。致动器框架被安装在该衬底的该陶瓷主体上。该致动器框架包括至少一个可移动构件。至少一个致动器操作地被连接到该至少一个可移动构件，使得该致动器被配置为移动该至少一个可移动构件。扫描镜组件被安装到至少...
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