扫描镜系统的衬底技术方案

一种MEMS扫描镜系统包括具有陶瓷主体的衬底。致动器框架被安装在该衬底的该陶瓷主体上。该致动器框架包括至少一个可移动构件。至少一个致动器操作地被连接到该至少一个可移动构件，使得该致动器被配置为移动该至少一个可移动构件。扫描镜组件被安装到至少一个可移动构件，使得该至少一个可移动构件的移动使该扫描镜组件移动。扫描镜组件移动。扫描镜组件移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】扫描镜系统的衬底

技术介绍

[0001]在扫描显示设备中，来自光源的光经由可控镜在一个或多个方向上被扫描以产生可视图像。在一些扫描显示设备中，激光被扫描镜系统以不同的角度反射，以将反射的激光投射到整个视场(FOV)。扫描镜系统包括扫描镜组件和合适的致动器，诸如微机电系统(MEMS)致动器，其旋转扫描镜组件的一个或多个扫描镜以实现不同反射角的范围。例如MEMS致动器可以在水平和垂直方向上围绕轴旋转扫描镜，以在FOV中产生可视图像。在不同的示例中，扫描镜系统可以包括在水平和垂直方向上驱动的单个反射镜，或者在水平和垂直方向上分别驱动的两个反射镜。
[0002]MEMS扫描镜系统通常包括致动器框架和移动致动器框架的一个或多个致动器(例如压电(PZT)致动器)。扫描镜组件连接到致动器框架，使得致动器框架的运动被转换到扫描镜组件，从而旋转扫描镜。在一些MEMS扫描镜系统中，致动器框架被安装在衬底上，该衬底为致动器框架、PZT致动器和扫描镜组件提供机械支撑。衬底还可以为MEMS扫描镜系统的各种组件(例如致动器)提供电接口。
[0003]已知MEMS扫描镜系统的衬底由玻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微机电系统(MEMS)扫描镜系统，包括：衬底，包括陶瓷主体；致动器框架，被安装在所述衬底的所述陶瓷主体上，所述致动器框架包括至少一个可移动构件；至少一个致动器，操作地被连接到所述至少一个可移动构件，使得所述致动器被配置为移动所述至少一个可移动构件；以及扫描镜组件，被安装到所述至少一个可移动构件，使得所述至少一个可移动构件的移动使所述扫描镜组件移动。2.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括氧化铝。3.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括氧化锆分散的氧化铝。4.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括氮化铝。5.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括氮化硅。6.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括低温共烧陶瓷(LTCC)。7.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括金属陶瓷。8.根据权利要求1所述的MEMS扫描镜系统，其中所述衬底的所述陶瓷主体包括以下一项或多项：陶瓷基复合材料(CMC)、氧化物陶瓷、非氧化物陶瓷或复合材...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：微软技术许可有限责任公司，
类型：发明
国别省市：