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本公开涉及一种用于将样品支架(200)移入和移出真空室(810)的样品转移装置(100)，包括：保持装置(110)，其包括至少一个凸轮(120)，配置为与样品支架(200)的至少一个从动件(210)配合，其中所述至少一个凸轮(120)包括具...
该专利属于具特拉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过具特拉有限公司授权不得商用。

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