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本实用新型提供一种点检装置及硅片检测分选设备，其中，点检装置包括：供料点检机构、收料点检机构以及若干检测机构；供料点检机构设置于若干检测机构的上游，收料点检机构设置于若干检测机构的下游。本实用新型的点检装置中，点检机构可设置于检测流线的上游...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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