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本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体公开了一种光刻胶中重氮甲烷类光致产酸剂的鉴定方法包括：S1、从待测的光刻胶样品中提取含有光致产酸剂的待测清液；待测清液经过GC
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该专利属于上海彤程电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海彤程电子材料有限公司彤程新材料集团股份有限公司授权不得商用。

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