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公开了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：转位单元，所述转位单元包括负载罐和转位室，容器安放在所述负载罐中，所述转位室连接到所述负载罐；以及处理执行单元，所述处理执行单元具有连接到所述转位室的负载锁定室和处理传送到所述负载锁定室的基板的...
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