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本发明涉及感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、和表面保护膜。本发明的课题是提供一种感光性树脂组成物、使用前述感光性树脂组成物的图案形成方法、硬化膜、具有前述硬化膜的电子零件。该课题的解决手段为一种感光性树脂组成物，...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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