专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
佳能株式会社
>
确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置的技术资料
文档序号:32852989
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
公开了确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置。提供了从基板的多个压射区域中确定样本压射区域的集合的方法,在每个样本压射区域中标记的位置要被实际地测量。该方法包括:设定样本压射区域的集合的初始布置,以及向样本压射区域的集合添加在除了初始布...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。