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微机械传感器制造技术
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下载微机械传感器的技术资料
文档序号:32852917
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本发明涉及一种微机械传感器,该微机械传感器具有微机械芯片,该微机械芯片具有第一微机械结构,该微机械传感器还具有第一分析处理芯片,该第一分析处理芯片具有第一专用集成电路,并且该微机械传感器具有第二分析处理芯片,该第二分析处理芯片具有第二专用集...
该专利属于罗伯特所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特授权不得商用。
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