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本发明涉及光刻装置的控制方法、光刻装置以及物品制造方法。提供有利于提高基板的位置测量的精度的技术。光刻装置的控制方法具有：取得工序，由摄像部对基板的测量区域进行摄像而得到图像；计算工序，计算与得到的所述图像的熵有关的评价值；以及登记工序，在...
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