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提供了激光装置和激光照射方法。根据实施方式的激光装置包括激光源、激光偏转器、物镜、图像捕获装置和校正器，激光源向处理对象提供激光束，激光偏转器偏转从激光源供给的激光束，物镜聚焦入射到处理对象上并且然后被散射的激光束的散射光，图像捕获装置捕获...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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