激光装置和激光照射方法制造方法及图纸

提供了激光装置和激光照射方法。根据实施方式的激光装置包括激光源、激光偏转器、物镜、图像捕获装置和校正器，激光源向处理对象提供激光束，激光偏转器偏转从激光源供给的激光束，物镜聚焦入射到处理对象上并且然后被散射的激光束的散射光，图像捕获装置捕获在物镜中聚焦的散射光的图像，校正器通过使用捕获的图像来校正激光束的位置。像来校正激光束的位置。像来校正激光束的位置。

【技术实现步骤摘要】
激光装置和激光照射方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2020年9月22日提交到韩国知识产权局的第10
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2020
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0122320号韩国专利申请的优先权及权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文。


[0003]本公开总体上涉及包括光束校准器的激光装置以及用于通过使用激光装置来照射激光的方法。更具体地，本公开涉及包括能够提高激光照射位置的精度的光束校准器的激光装置。

技术介绍

[0004]一般而言，当通过使用激光装置进行处理时，对齐标记位于被激光照射的对象的正面上，并且激光装置的激光束的位置通过使用正面上的对齐标记位置来校正。
[0005]存在关于校正这种激光装置的激光束的方法的各种公开。
[0006]美国专利6,501,061公开了一种用于确定扫描仪坐标以便精确地布置聚焦的激光束的方法。聚焦的激光束扫过激光扫描仪的工作表面的感兴趣区域(例如，开口)。由光电检测器以预定的时间间隔或空间检测聚焦的激光束的位置，或者当聚焦的激光束穿过工作表面的开口时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光装置，包括：激光源，所述激光源向处理对象提供激光束；激光偏转器，所述激光偏转器偏转从所述激光源供给的所述激光束；物镜，所述物镜聚焦入射到所述处理对象上并且然后被散射的所述激光束的散射光；图像捕获装置，所述图像捕获装置捕获在所述物镜中聚焦的所述散射光的图像；以及校正器，所述校正器通过使用捕获的所述图像来校正所述激光束的位置。2.如权利要求1所述的激光装置，其中，所述校正器包括存储器和计算器。3.如权利要求1所述的激光装置，其中，所述处理对象包括第一表面和与所述第一表面垂直的第二表面，所述处理对象包括布置在所述第一表面上的多个对齐标记，以及所述激光束照射到所述处理对象的所述第二表面。4.如权利要求3所述的激光装置，其中，所述第二表面的面积小于所述第一表面的面积，以及所述多个对齐标记为形成在所述第一表面中的多个像素。5.如权利要求3所述的激...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历山大，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：