下载非易失性存储器结构及其制造方法的技术资料

文档序号:32850190

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本发明提供一种非易失性存储器结构及其制造方法,该非易失性存储器包括:衬底以及衬底上的一穿隧介电层。位于衬底的阵列区域中且彼此相距设置的多个栅极结构,各栅极结构包含浮置栅极以及位于浮置栅极上方的控制栅极。位于穿隧介电层的上方并覆盖栅极结构的第...
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