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本发明公开了一种半导体单片集成电路的光刻设备，包括框架结构，光刻结构，所述光刻结构设在框架结构上，框架结构，设计简单，成本低，单片放置台结构，避免了半导体单片在操作流程中的拿放，防止了手指碰触单片造成表面脏污，升降结构可调节光刻组件结构和单...
该专利属于芷江积成电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芷江积成电子有限公司授权不得商用。

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