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本申请公开一种红外传感器及其形成方法,所述红外传感器包括:传感层,包括至少一个热电堆;读取电路层,包括读取电路;所述传感层和所述读取电路通过键合层上下结合在一起,且所述传感层通过所述键合层电连接至所述读取电路;所述传感层通过支撑结构支撑于所...该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。
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本申请公开一种红外传感器及其形成方法,所述红外传感器包括:传感层,包括至少一个热电堆;读取电路层,包括读取电路;所述传感层和所述读取电路通过键合层上下结合在一起,且所述传感层通过所述键合层电连接至所述读取电路;所述传感层通过支撑结构支撑于所...