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本发明公开了一种基于视觉的单晶炉液位、单晶棒直径测量方法及装置,先手动进行液位标定和相机参数标定,在线生产时结合已有标定数据和图像测量出的液口距像素值、直径像素值,来换算实际的液位及单晶棒直径,并将它们做为输入发送给温度控制系统和液位控制系...该专利属于航天智造(上海)科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过航天智造(上海)科技有限责任公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基于视觉的单晶炉液位、单晶棒直径测量方法及装置,先手动进行液位标定和相机参数标定,在线生产时结合已有标定数据和图像测量出的液口距像素值、直径像素值,来换算实际的液位及单晶棒直径,并将它们做为输入发送给温度控制系统和液位控制系...