温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高分辨角速度传感器、其制作方法及应用。该高分辨角速度传感器包括半导体光学放大器和无源环形谐振腔，该半导体光学放大器内嵌于环形谐振腔内。本发明通过将有源增益区内嵌于环形谐振腔内，实现了损耗补偿型的环形谐振腔角速度传感器，其中通...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。