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本发明提供一种晶圆清洗装置，包括用于清洗晶圆的刷头、偏移模块及刷头旋转模块，刷头设于所述偏移模块上，所述偏移模块用于带动刷头移动，刷头旋转模块用于带动所述刷头绕所述刷头的轴心旋转。采用该结构的晶圆清洗装置使得晶圆清洗装置中的刷头可适用于对不...
该专利属于上海提牛机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海提牛机电设备有限公司授权不得商用。

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