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一种单晶炉的铱坩埚加热装置和单晶生长的方法制造方法及图纸
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文档序号:32822271
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本发明公开了一种单晶炉的铱坩埚加热装置和单晶生长的方法,涉及直拉单晶设备技术领域,其中,一种单晶炉的铱坩埚加热装置,包括:保温装置,保温装置具有空腔,空腔用于坩埚的放置;第一感应线圈,第一感应线圈用于坩埚的加热;加热组件,包括第二感应线圈和...
该专利属于浙江大学杭州国际科创中心所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学杭州国际科创中心授权不得商用。
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