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本发明提供了一种制备六氟化钨的装置和方法，涉及电子特种气体生产技术领域。本发明提供的制备六氟化钨的装置，包括列管立式反应单元，列管立式反应单元包括列管立式反应器，列管立式反应器包括至少两根串联的反应列管，反应列管中设置有多孔托盘，首根反应列...
该专利属于天津海嘉斯迪新材料合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过天津海嘉斯迪新材料合伙企业（有限合伙）授权不得商用。

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