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本实用新型公开了一种晶圆清洗槽的液位监测装置，所述清洗槽侧壁的上侧设置有导流管，所述导流管上设有漏液传感器。清洗槽内的清洗液高于导流管的安装位置时，沿导流管向漏液传感器流动，漏液传感器检测到信号时，判断清洗槽有漏液的风险，从而对清洗槽的漏液...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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