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本发明实施例提供了一种蒸镀装置及其控制方法。蒸镀装置包括：坩埚主体，坩埚主体上设置多个喷嘴，喷嘴将蒸镀物第一方向喷射出；基板，所述基板正对所述第一方向设置，基板用于沉积喷嘴沿第一方向喷射出的蒸镀物；活动挡板，活动挡板设置在坩埚主体内，且活动...
该专利属于武汉天马微电子有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉天马微电子有限公司上海分公司授权不得商用。

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