一种蒸镀装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种蒸镀装置及其控制方法。蒸镀装置包括：坩埚主体，坩埚主体上设置多个喷嘴，喷嘴将蒸镀物第一方向喷射出；基板，所述基板正对所述第一方向设置，基板用于沉积喷嘴沿第一方向喷射出的蒸镀物；活动挡板，活动挡板设置在坩埚主体内，且活动挡板可沿第二方向移动，第一方向与第二方向相交。本发明专利技术提供的活动挡板设计在提高蒸镀均匀性的同时，不影响坩埚本体的使用寿命，将活动挡板的移动方向设置为与坩埚主体内喷嘴的喷射方向相交，活动挡板不需要承接有机发光材料就能改变坩埚主体内的容积，从而改变液面高度。因此，本申请提供的活动板移动方式，能够实现改变液面高度的同时，保证坩埚的使用寿命。保证坩埚的使用寿命。保证坩埚的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置及其控制方法


[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀装置的控制方法。

技术介绍

[0002]目前，有机电致发光器件的各膜层一般通过蒸镀形成，线性蒸发源由于其成膜均匀的特性被广泛应用于有机电致发光器件的制作。在蒸镀有机电致发光材料时，随着蒸镀进程的推进，有机电致发光材料不断消耗，要维持稳定的蒸镀速率，有机电致发光材料液面的蒸发温度也需要越来越高。当有机电致发光材料消耗至距离坩埚本体底面的高度等于或小于h，h为坩埚本体顶部的有机电致发光材料处于裂解的临界温度时，坩埚本体内的有机电致发光材料正常蒸发允许的最低液面高度，会出现坩埚本体顶部的温度大于有机电致发光材料的裂解温度，导致有机电致发光材料在坩埚喷嘴处发生裂解，从而破坏蒸镀过程的稳定性，造成有机电致发光材料的浪费，影响有机电致发光器件的品质。
[0003]CN104593730B公开了一种通过在坩埚本体的底部设置一抬升结构，以抬升坩埚内有机电致发光材料最低液面的高度，使得有机电致发光材料在低于裂解温度的温度下全部蒸出。但是，由于抬升结构设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：坩埚，所述坩埚包括坩埚主体，所述坩埚主体上设置多个喷嘴，所述喷嘴用于将所述坩埚主体内的蒸镀物沿第一方向喷射出；基板，所述基板正对所述第一方向设置，所述基板用于沉积所述喷嘴沿所述第一方向喷射出的所述蒸镀物；活动挡板，所述活动挡板设置在所述坩埚主体内，且所述活动挡板可沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相交。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向基本垂直。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述活动挡板还包括驱动机构，所述驱动机构与所述活动挡板连接，所述驱动机构用于驱动所述活动挡板沿所述第二方向移动。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，在所述第一方向上，所述活动挡板的高度等于所述坩埚主体的高度。5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，在所述活动挡板未沿所述第二方向移动时，所述活动挡板与所述坩埚主体的内侧壁贴合设置。6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括加热装置，所述加热装置环绕所述坩埚主体设置。7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚主体包括第一坩埚主体与第二坩埚主体，所述第一坩埚主体包括多个所述喷嘴，所述第二坩埚主体包括多个所述喷嘴，所述第一坩埚主体上的多个喷嘴与所述第二坩埚主体上的多个喷嘴位于同一条直线上。8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一坩埚主体上相邻两个喷嘴之间形成第一凹槽，所述第一凹槽用...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑新源，张莉，戴铭志，程爽，张银，张春雷，
申请(专利权)人：武汉天马微电子有限公司上海分公司，
类型：发明
国别省市：