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本发明公开了一种石墨旋转靶材的绑定方法，它涉及磁控溅射镀膜旋转靶材绑定的技术领域；其步骤是：先在不锈钢衬管外壁均匀涂刷一层导热胶；然后在水平工作台放置一张0.3mm石墨纸，石墨纸上放筛孔尺寸为80
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该专利属于深圳市友容新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市友容新材料科技有限公司授权不得商用。

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