一种石墨旋转靶材的绑定方法技术

本发明专利技术公开了一种石墨旋转靶材的绑定方法，它涉及磁控溅射镀膜旋转靶材绑定的技术领域；其步骤是：先在不锈钢衬管外壁均匀涂刷一层导热胶；然后在水平工作台放置一张0.3mm石墨纸，石墨纸上放筛孔尺寸为80

【技术实现步骤摘要】
一种石墨旋转靶材的绑定方法


[0001]本专利技术属于磁控溅射镀膜旋转靶材绑定的
，具体涉及一种石墨旋转靶材的绑定方法。

技术介绍

[0002]市面上现有工艺是采用石墨套管的形式组合在一起，具体来说：背管采用铜背管，背管车成外螺纹状；石墨管分为多段石墨套管，每一段石墨套管内壁都车成内螺纹状；然后将多段石墨套管依次旋转套入铜背管上组合完成。
[0003]其特点是：操作简便，技术含量低，采用内外螺纹嵌合的方式，铜背管与石墨套管存在接触不良问题，螺纹加工偏差大也会导致嵌合不良，导致靶管导热性差，石墨靶管在溅射镀膜过程靶材表面容易发生结瘤现象；同时为了达到导热效果，背管有局限性采用铜背管；这款石墨管产品我们开发了导热胶绑定技术并经客户使用验证；而市面上其它家这款石墨管产品采用的是上述说的采用石墨套管的形式。
[0004]公开号为CN201410270154.2的中国专利，公开了一种套筒靶材石墨绑定技术。步骤为：将不锈钢管衬管外径，套筒靶材内径，分别车圆至一定直径进行绑定；将靶材套筒上包裹加热包加热；把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨旋转靶材的绑定方法，其特征在于包括如下步骤:一.衬管固定：辅助旋转工作台(6)，将不锈钢衬管(5)固定于旋转工作台(6)上；二.衬管涂布：在不锈钢衬管(5)外壁均匀涂布一层薄薄的导热胶二(4)；三.衬管绑定：将石墨纸与铜网组合(3)绑定在不锈钢衬管(5)上，将筛孔尺寸为80
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120的铜网放到石墨纸上；在铜网上均匀涂布一层导热胶二(4)；将涂布有导热胶二(4)的铜网贴合在不锈钢衬管(5)上，石墨纸朝外；固定固化即可；四.靶材绑定：在石墨纸外壁涂布导热胶一(2)；同时在石墨套管靶材内壁涂布满导热胶一(2)；将石墨旋转靶材(1)旋入绑定好铜网和石...

【专利技术属性】
技术研发人员：周钰贵，彭冲，韩翔，
申请(专利权)人：深圳市友容新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：