下载具有直接连到栅极、漏极和源极的金属互连的晶体管结构的技术资料

文档序号:32805525

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本发明公开了一种晶体管结构。所述晶体管结构包含一半导体基底、一栅极结构、一信道区以及一第一导电区。所述半导体基底具有一半导体表面。所述栅极结构位于所述半导体表面上方,其中形成一第一凹槽以露出所述栅极结构。所述渠道区位于所述半导体表面下方。所...
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