下载巨观及微观检测设备及检测方法的技术资料

文档序号:32805230

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本发明涉及一种巨观及微观检测设备,包含有一巨观检查站,以及分别设于巨观检查站二侧的一待测物存放站及一微观检测站,巨观检查站包含有一机壳、一机械手臂及一视觉辨识系统,机械手臂包含有一用于承载一待测物且能翻转的末端执行器并以末端执行器能进入待测...
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