巨观及微观检测设备及检测方法技术

本发明专利技术涉及一种巨观及微观检测设备，包含有一巨观检查站，以及分别设于巨观检查站二侧的一待测物存放站及一微观检测站，巨观检查站包含有一机壳、一机械手臂及一视觉辨识系统，机械手臂包含有一用于承载一待测物且能翻转的末端执行器并以末端执行器能进入待测物存放站及微观检测站的方式设于机壳内，视觉辨识系统包含有能朝末端执行器拍摄地设于机壳内的至少一影像捕获设备，用于撷取待测物的影像。本发明专利技术更提供使用所述检测设备的检测方法。本发明专利技术的检测设备及检测方法可避免人力检查所造成的问题，且结构简洁、节省空间，并可产生高检测效率。生高检测效率。生高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
巨观及微观检测设备及检测方法


[0001]本专利技术与电子元件的检测设备有关，特别是指一种整合巨观检查及微观检测的检测设备及其检测方法。

技术介绍

[0002]习知晶圆的检测流程，通常会先进行巨观检查，即由品检人员肉眼观察晶圆并判断晶圆外观是否有瑕疵，若晶圆外观无瑕疵则再进行微观检测，即利用检测仪器检测晶圆的芯片的外观、电性且/或光学特性等等。然而，通过人力进行巨观检查，不但可能因品检人员视觉疲劳而发生漏检或误检的状况，并可能因品检人员的搬运疏失而发生摔片或碰撞进而造成物料折损。此外，在巨观检查与微观检测之间，还需将晶圆进行移载、分类，并集中等待，此等程序不但占用相当的空间，更增加了整体检测流程所需的时间。
[0003]请参阅中国台湾专利编号I429898，前述专利提供一种整合巨观检查及微观检测的检测设备，此检测设备虽可减少待测物在巨观检查与微观检测之间的移载距离及时间，但此检测设备需利用一运送机器人将待测物移载至检查站，并且在检查站内还需设有一旋转机构接收运送机器人所移载的待测物，并将待测物转动至巨观检查部及微观检查部，换言之，此检测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种巨观及微观检测设备，其特征在于包含有：一巨观检查站；一待测物存放站，设于所述巨观检查站的一侧；一微观检测站，设于所述巨观检查站的另一侧；其中，所述巨观检查站包含有一机壳、一机械手臂，以及一视觉辨识系统，所述机械手臂包含有一用于承载一待测物且能翻转的末端执行器，所述机械手臂以其末端执行器能进入所述待测物存放站及所述微观检测站的方式设于所述机壳内，所述视觉辨识系统包含有能朝所述末端执行器拍摄地设于所述机壳内的至少一影像捕获设备，用于撷取所述待测物的影像。2.如权利要求1所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：所述视觉辨识系统设于所述机械手臂与所述待测物存放站之间。3.如权利要求1所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：其能定义出一水平轴向，所述巨观检查站具有朝向所述水平轴向的二相反方向的一第一侧及一第二侧，所述待测物存放站及所述微观检测站分别设于所述第一侧及所述第二侧，所述机械手臂能相对于所述机壳而沿所述水平轴向地自一中间位置朝所述二相反方向移动。4.如权利要求3所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：所述视觉辨识系统设于所述中间位置与所述待测物存放站之间。5.如权利要求1所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：其能定义出相互垂直的一第一水平轴向及一第二水平轴向，所述巨观检查站具有朝向所述第一水平轴向的二相反方向的一第一侧及一第二侧，以及朝向所述第二水平轴向的二相反方向的一第三侧及一第四侧，所述机械手臂能相对于所述机壳而沿所述第一水平轴向地自一中间位置朝所述第一水平轴向的所述二相反方向移动，所述巨观检查站的第一侧、第二侧、第三侧及第四侧中至少一侧设有所述待测物存放站且至少另一侧设有所述微观检测站。6.如权利要求5所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：所述巨观检查站的第一侧及第二侧分别设有所述待测物存放站及所述微观检测站，所述第三侧及所述第四侧至少其中之一也设有所述待测物存放站，所述视觉辨识系统设于所述中间位置与所述微观检测站之间。7.如权利要求5所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：所述巨观检查站的第一侧及第二侧分别设有一所述微观检测站，所述第三侧及所述第四侧其中之一设有所述待测物存放站，所述视觉辨识系统设于所述机械手臂与所述待测物存放站之间。8.如权利要求1所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：所述视觉辨识系统包含有倾斜设置的四所述影像捕获设备，四所述影像捕获设备撷取所述待测物的影像时，其中二所述影像捕获设备的位置对应于所述末端执行器一侧，另二所述影像捕获设备的位置对应于所述末端执行器另一侧，使得所述待测物完全位于四所述影像捕获设备的视野范围内。9.如权利要求1所述的巨观及微观检测设备，其特征在于：所述视觉辨识系统包含有倾斜设置的三所述影像捕获设备，三所述影像捕获设备撷取...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡振扬，陈维懋，谢洹圳，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：