下载一种集成电路制程布局可靠性的测试装置的技术资料

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本实用新型属于集成电路检测技术领域,且公开了一种集成电路制程布局可靠性的测试装置,包括放置台,所述放置台的顶部开设有放置槽,所述放置槽的内壁设置有限位板,所述放置槽的顶部开设有底槽,所述放置台的内部开设有导电内腔,所述导电内腔的内部固定安装...
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