下载一种栅极总线结构及沟槽栅芯片的技术资料

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本发明提供的栅极总线结构及沟槽栅芯片,所述栅极总线结构包括:形成于第一导电类型的漂移区上方的具有第二导电类型的阱区,阱区与元胞区延伸出的元胞区沟槽相交,且阱区内形成有多条与元胞区沟槽方向成设定角度的栅极总线沟槽,以缓解沟槽栅芯片的翘曲;形成...
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