下载薄膜晶体管及其制作方法、显示面板的技术资料

文档序号:32780807

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本申请提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板;该薄膜晶体管包括半导体层、与半导体层的位置对应设置的栅极、以及设置于半导体层和栅极之间的栅极绝缘层,栅极绝缘层包括第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层,第一栅极绝缘层的介电常数大于第二栅极绝缘层的介...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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