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本实用新型属于光刻机技术领域，尤其为一种棱镜角度可调的光刻机，包括光刻机本体和可调式棱镜组件，光刻机本体内开设棱镜安装腔，可调式棱镜组件固定安装在棱镜安装腔内，可调式棱镜组件包括棱镜本体、伸缩式转动支架、具有齿轮槽的调节外框架、第一支架、第...
该专利属于济南紫源电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南紫源电子有限公司授权不得商用。

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