一种棱镜角度可调的光刻机制造技术

本实用新型专利技术属于光刻机技术领域，尤其为一种棱镜角度可调的光刻机，包括光刻机本体和可调式棱镜组件，光刻机本体内开设棱镜安装腔，可调式棱镜组件固定安装在棱镜安装腔内，可调式棱镜组件包括棱镜本体、伸缩式转动支架、具有齿轮槽的调节外框架、第一支架、第一齿轮、第二齿轮、齿轮传动结构、第三齿轮和驱动结构，棱镜本体固定设置于调节外框架内，调节外框架通过伸缩式转动支架固定安装在棱镜安装腔内，第一齿轮通过第一支架固定安装在棱镜安装腔内，本实用新型专利技术通过可调式棱镜组件作为光刻机本体的光源进行控制处理，使得光源方向能够灵活调整，而可调式棱镜组件采用两种驱动方式，均可实现细小的调节，操作简单，调节精度高，实用性强。性强。性强。

【技术实现步骤摘要】
一种棱镜角度可调的光刻机


[0001]本技术属于光刻机
，具体为一种棱镜角度可调的光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机是一种采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上的设备，是制造芯片的核心装备，也被称为掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，但是近年来光刻机已经成为主要称呼，在集成电路的生产过程中，需要通过光刻机利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜，形成电路结构，在光刻机的各个组成部件中，棱镜是必不可少的，当前的光刻机系统中，棱镜角度多为不可调节结构，不够灵活，少部分具有调节功能的棱镜，调节精度较低，调节方式单一，并不实用，为此，我们提出一种优化改进后的棱镜角度可调的光刻机。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种棱镜角度可调的光刻机，通过可调式棱镜组件作为光刻机本体的光源进行控制处理，使得光源方向能够灵活调整，而可调式棱镜组件采用两种驱动方式，以大直径齿轮转动带动小直径齿轮转动，实现更加细小的调节，操作简单，调节精度高，实用性强本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：包括光刻机本体(1)和可调式棱镜组件(3)；所述光刻机本体(1)内开设棱镜安装腔(2)，所述可调式棱镜组件(3)固定安装在所述棱镜安装腔(2)内；所述可调式棱镜组件(3)包括棱镜本体(4)、伸缩式转动支架(5)、具有齿轮槽的调节外框架(6)、第一支架(7)、第一齿轮(8)、第二齿轮(9)、齿轮传动结构(10)、第三齿轮(11)和驱动结构(12)，所述棱镜本体(4)固定设置于所述调节外框架(6)内，所述调节外框架(6)通过所述伸缩式转动支架(5)固定安装在所述棱镜安装腔(2)内，所述第一齿轮(8)通过所述第一支架(7)固定安装在所述棱镜安装腔(2)内，所述调节外框架(6)两侧的齿轮槽分别与所述第一齿轮(8)和所述第二齿轮(9)啮合连接，所述第二齿轮(9)通过所述齿轮传动结构(10)与所述第三齿轮(11)连接，所述驱动结构(12)与所述第三齿轮(11)啮合连接。2.根据权利要求1所述的一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：所述齿轮传动结构(10)和所述驱动结构(12)均通过安装支架固定在所述棱镜安装腔(2)内。3.根据权利要求1所述的一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：所述齿轮传动结构(10)包括转动支架(10
‑
1)、两个传动齿轮(10
‑
2)和齿轮履带(10
‑
3)，所述齿轮履带(10
‑
3)啮合安装在两个所述传动齿轮(10
‑
2)之间。4.根据权利要求3所述的一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：两个所述传动齿轮(10
‑
2)的轴心处均安装所述转动支...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹿庆文，
申请(专利权)人：济南紫源电子有限公司，
类型：新型
国别省市：