一种棱镜角度可调的光刻机制造技术

本实用新型专利技术属于光刻机技术领域，尤其为一种棱镜角度可调的光刻机，包括光刻机本体和可调式棱镜组件，光刻机本体内开设棱镜安装腔，可调式棱镜组件固定安装在棱镜安装腔内，可调式棱镜组件包括棱镜本体、伸缩式转动支架、具有齿轮槽的调节外框架、第一支架、第一齿轮、第二齿轮、齿轮传动结构、第三齿轮和驱动结构，棱镜本体固定设置于调节外框架内，调节外框架通过伸缩式转动支架固定安装在棱镜安装腔内，第一齿轮通过第一支架固定安装在棱镜安装腔内，本实用新型专利技术通过可调式棱镜组件作为光刻机本体的光源进行控制处理，使得光源方向能够灵活调整，而可调式棱镜组件采用两种驱动方式，均可实现细小的调节，操作简单，调节精度高，实用性强。性强。性强。

【技术实现步骤摘要】
一种棱镜角度可调的光刻机


[0001]本技术属于光刻机
，具体为一种棱镜角度可调的光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机是一种采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上的设备，是制造芯片的核心装备，也被称为掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，但是近年来光刻机已经成为主要称呼，在集成电路的生产过程中，需要通过光刻机利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜，形成电路结构，在光刻机的各个组成部件中，棱镜是必不可少的，当前的光刻机系统中，棱镜角度多为不可调节结构，不够灵活，少部分具有调节功能的棱镜，调节精度较低，调节方式单一，并不实用，为此，我们提出一种优化改进后的棱镜角度可调的光刻机。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种棱镜角度可调的光刻机，通过可调式棱镜组件作为光刻机本体的光源进行控制处理，使得光源方向能够灵活调整，而可调式棱镜组件采用两种驱动方式，以大直径齿轮转动带动小直径齿轮转动，实现更加细小的调节，操作简单，调节精度高，实用性强。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种棱镜角度可调的光刻机，包括光刻机本体和可调式棱镜组件；
[0007]所述光刻机本体内开设棱镜安装腔，所述可调式棱镜组件固定安装在所述棱镜安装腔内；
[0008]所述可调式棱镜组件包括棱镜本体、伸缩式转动支架、具有齿轮槽的调节外框架、第一支架、第一齿轮、第二齿轮、齿轮传动结构、第三齿轮和驱动结构，所述棱镜本体固定设置于所述调节外框架内，所述调节外框架通过所述伸缩式转动支架固定安装在所述棱镜安装腔内，所述第一齿轮通过所述第一支架固定安装在所述棱镜安装腔内，所述调节外框架两侧的齿轮槽分别与所述第一齿轮和所述第二齿轮啮合连接，所述第二齿轮通过所述齿轮传动结构与所述第三齿轮连接，所述驱动结构与所述第三齿轮啮合连接。
[0009]优选的，所述齿轮传动结构和所述驱动结构均通过安装支架固定在所述棱镜安装腔内，所述齿轮传动结构包括转动支架、两个传动齿轮和齿轮履带，所述齿轮履带啮合安装在两个所述传动齿轮之间，两个所述传动齿轮的轴心处均安装所述转动支架，两个所述传动齿轮分别与所述第二齿轮和所述第三齿轮轴心相连。
[0010]通过采用上述方案，使得第二齿轮和第三齿轮之间为连动状态，通过齿轮履带的传动效果实现连动。
[0011]优选的，所述驱动结构包括与所述第三齿轮啮合的第四齿轮和第一电机，所述第
四齿轮的轴心安装在所述第一电机的输出轴上。
[0012]通过采用上述方案，第一电机带动第四齿轮转动，进而驱动第三齿轮转动，实现基本的驱动功能。
[0013]优选的，所述驱动结构包括一侧开设调节齿槽的活动调节板、螺纹座、丝杠和第二电机，所述调节齿槽与所述第三齿轮啮合，所述螺纹座焊接在所述活动调节板的侧壁上，所述丝杠螺纹穿设在所述螺纹座内，所述丝杠固定安装在所述第二电机的输出轴上，所述第二电机为伺服电机。
[0014]通过采用上述方案，第二电机控制丝杠转动，对螺纹座的高度进行调节，从而使得活动调节板的高度发生变化，利用活动调节板上的调节齿槽对第三齿轮进行调节驱动。
[0015](三)有益效果
[0016]与现有技术相比，本技术提供了一种棱镜角度可调的光刻机，具备以下有益效果：
[0017]本技术通过可调式棱镜组件作为光刻机本体的光源进行控制处理，使得光源方向能够灵活调整，而可调式棱镜组件采用两种驱动方式，以大直径齿轮转动带动小直径齿轮转动，实现更加细小的调节，操作简单，调节精度高，实用性强。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图；
[0019]图2为本技术中可调式棱镜组件的示意图；
[0020]图3为本技术中齿轮传动结构的示意图；
[0021]图4为本技术实施例一中驱动结构的示意图；
[0022]图5为本技术实施例二中驱动结构的示意图；
[0023]图中：
[0024]1、光刻机本体；2、棱镜安装腔；3、可调式棱镜组件；4、棱镜本体；5、伸缩式转动支架；6、调节外框架；7、第一支架；8、第一齿轮；9、第二齿轮；10、齿轮传动结构；10
‑
1、转动支架；10
‑
2、传动齿轮；10
‑
3、齿轮履带；11、第三齿轮；12、驱动结构；12
‑
1、第四齿轮；12
‑
2、第一电机；12
‑
3、活动调节板；12
‑
4、螺纹座；12
‑
5、丝杠；12
‑
6、第二电机；12
‑
7、调节齿槽。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例一
[0027]一种棱镜角度可调的光刻机，包括光刻机本体1和可调式棱镜组件3；
[0028]光刻机本体1内开设棱镜安装腔2，可调式棱镜组件3固定安装在棱镜安装腔2内；
[0029]可调式棱镜组件3包括棱镜本体4、伸缩式转动支架5、具有齿轮槽的调节外框架6、第一支架7、第一齿轮8、第二齿轮9、齿轮传动结构10、第三齿轮11和驱动结构12，棱镜本体4固定设置于调节外框架6内，调节外框架6通过伸缩式转动支架5固定安装在棱镜安装腔2
内，第一齿轮8通过第一支架7固定安装在棱镜安装腔2内，调节外框架6两侧的齿轮槽分别与第一齿轮8和第二齿轮9啮合连接，第二齿轮9通过齿轮传动结构10与第三齿轮11连接，驱动结构12与第三齿轮11啮合连接，齿轮传动结构10和驱动结构12均通过安装支架固定在棱镜安装腔2内。
[0030]在本技术实际使用过程中，可调式棱镜组件3的使用方法为，通过驱动结构12提供调节的驱动力，用于控制第三齿轮11转动，进而带动齿轮传动结构10转动，齿轮传动结构10的转动便可对与之连接的第二齿轮9进行传动，使得第二齿轮9转动，继而带动与第二齿轮9啮合的调节外框架6移动，使得调节外框架6在伸缩式转动支架5上倾斜，而棱镜本体4位于调节框架6内，与调节外框架6同步移动，调节外框架6靠近第一齿轮8的一侧伸缩式转动支架5为固定长度，保持锁死状态，另一侧的伸缩式转动支架5保持活动结构，用于高度调节便可，从而实现调节功能，同时，如图2所示，第三齿轮11的直径较大，在被驱动时轴向角度变化较小，因此带动的第二齿轮9转动的角度也较小，在实际使用时能够实现更为精细的调节效果。
[0031]作为本技术的一种技术优本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：包括光刻机本体(1)和可调式棱镜组件(3)；所述光刻机本体(1)内开设棱镜安装腔(2)，所述可调式棱镜组件(3)固定安装在所述棱镜安装腔(2)内；所述可调式棱镜组件(3)包括棱镜本体(4)、伸缩式转动支架(5)、具有齿轮槽的调节外框架(6)、第一支架(7)、第一齿轮(8)、第二齿轮(9)、齿轮传动结构(10)、第三齿轮(11)和驱动结构(12)，所述棱镜本体(4)固定设置于所述调节外框架(6)内，所述调节外框架(6)通过所述伸缩式转动支架(5)固定安装在所述棱镜安装腔(2)内，所述第一齿轮(8)通过所述第一支架(7)固定安装在所述棱镜安装腔(2)内，所述调节外框架(6)两侧的齿轮槽分别与所述第一齿轮(8)和所述第二齿轮(9)啮合连接，所述第二齿轮(9)通过所述齿轮传动结构(10)与所述第三齿轮(11)连接，所述驱动结构(12)与所述第三齿轮(11)啮合连接。2.根据权利要求1所述的一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：所述齿轮传动结构(10)和所述驱动结构(12)均通过安装支架固定在所述棱镜安装腔(2)内。3.根据权利要求1所述的一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：所述齿轮传动结构(10)包括转动支架(10
‑
1)、两个传动齿轮(10
‑
2)和齿轮履带(10
‑
3)，所述齿轮履带(10
‑
3)啮合安装在两个所述传动齿轮(10
‑
2)之间。4.根据权利要求3所述的一种棱镜角度可调的光刻机，其特征在于：两个所述传动齿轮(10
‑
2)的轴心处均安装所述转动支...

【专利技术属性】
技术研发人员：鹿庆文，
申请(专利权)人：济南紫源电子有限公司，
类型：新型
国别省市：