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本发明公开了一种宽带响应的软X射线偏振镜及其制备方法，涉及精密光学系统技术领域，所述软X射线偏振镜为非周期多层膜结构的偏振镜；所述软X射线偏振镜包括基底以及设置在所述基底上的膜层序列；所述膜层序列包括多个且非周期排列的膜层，分别为第一膜层和...
该专利属于苏州闻道电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州闻道电子科技有限公司授权不得商用。

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