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本实用新型涉及微纳加工技术领域，公开了一种解理装置，包括承载机构和按压机构，承载机构包括限位件、载台和压力检测器，用于承载待按压的衬底，限位件对应于按压台的位置具有安装腔，载台和压力检测器位于安装腔中，安装腔的腔壁限制载台在垂直于工作面的方...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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