一种解理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及微纳加工技术领域，公开了一种解理装置，包括承载机构和按压机构，承载机构包括限位件、载台和压力检测器，用于承载待按压的衬底，限位件对应于按压台的位置具有安装腔，载台和压力检测器位于安装腔中，安装腔的腔壁限制载台在垂直于工作面的方向运动。按压机构包括按压台，用于获取附有二维材料的胶带并将胶带按压至衬底上，压力检测器用于检测按压台对载台的压力，可精确显示附着在其上的压力，从而反应出解理过程中按压台将胶带按压至衬底的力度，量化了解理过程的参数，对按压力实现量化可控，减少了人为因素的影响，提高材料解理加工的可重复性。高材料解理加工的可重复性。高材料解理加工的可重复性。

【技术实现步骤摘要】
一种解理装置


[0001]本技术涉及微纳加工
，尤其是涉及一种解理装置。

技术介绍

[0002]当前，二维材料的研究带来了许多新奇的物理效应和优异的器件性能，在场效应管、光电器件、热电器件等领域应用广泛，扩大了对材料功能与性质的认知，对二维材料各项功能的研究，将对未来电子元器件的开发和应用具有积极影响。目前，通过晶体机械剥离方法可获得高质量二维材料，该方法简单、高效且便捷，然而目前的机械剥离手段大都由人工手动获得，不仅产率不高，而且参数无法量化，重复性差。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种解理装置，能够对按压力实现量化可控，减少了人为因素的影响，提高材料解理加工的可重复性。
[0004]本技术实施例提供了一种解理装置，包括：
[0005]承载机构，包括限位件、载台和压力检测器，所述载台具有工作面，所述工作面用于承载待按压的衬底，所述限位件具有安装腔，所述载台和所述压力检测器位于所述安装腔中，所述安装腔的腔壁限制所述载台在垂直于所述工作面的方向运动，所述限位件对应于所述工作面设置有连通于所述安装腔的开口；
[0006]按压机构，包括按压台、连接件和驱动件，所述按压台连接于所述连接件且在垂直于所述工作面的方向对齐于所述载台，所述驱动件用于驱动所述连接件沿垂直于所述工作面的方向移动所述按压台，所述按压台用于获取附有二维材料的胶带并将所述胶带按压至所述衬底上，所述载台位于所述压力检测器和所述按压台之间，所述压力检测器用于检测所述按压台对所述载台的压力。
[0007]本技术实施例的解理装置至少具有如下有益效果：按压台连接于连接件，驱动件驱动连接件沿垂直于工作面的方向移动按压台，从而实现施加不同的压力。压力检测器可精确显示附着在其上的压力，从而反应出解理过程中按压台将胶带按压至衬底的力度，因此量化了解理过程的参数。由此，对按压力实现量化可控，减少了人为因素的影响，提高材料解理加工的可重复性。
[0008]根据本技术一些实施例的解理装置，所述安装腔具有圆柱形的腔壁，且所述腔壁的轴线垂直于所述工作面；所述载台具有圆柱形的外壁，所述载台与所述安装腔同轴设置，所述外壁贴合于所述腔壁且能够沿所述腔壁滑动。
[0009]根据本技术一些实施例的解理装置，所述载台具有加热模块，用于加热所述工作面上的所述衬底。
[0010]根据本技术一些实施例的解理装置，所述加热模块包括加热器和温控仪，所述加热器设置于所述载台的内部，所述加热器能够通电加热，用于加热所述载台以对所述
工作面上的所述衬底加热，所述温控仪电连接于所述加热器，用于调节所述加热器的温度。
[0011]根据本技术一些实施例的解理装置，所述压力检测器包括电子秤，所述电子秤抵持于所述载台背离所述按压台的一侧。
[0012]根据本技术一些实施例的解理装置，还包括密闭装置，内部具有空腔，所述承载机构设置于所述空腔中，所述密闭装置在对应于所述限位件的开口的位置开设有密封口，所述密封口内设置有密封件；所述连接件穿设于所述密封口中，并通过所述密封件与所述密封口密封连接并能够相对所述密封口沿垂直于所述工作面的方向移动，所述按压台位于所述空腔中，所述驱动件位于所述空腔外。
[0013]根据本技术一些实施例的解理装置，还包括抽真空装置，所述密闭装置还设置有连通于所述空腔的真空接口，所述抽真空装置通过真空管道连接于真空接口，并与所述空腔连通，抽真空装置用于对所述空腔抽真空。
[0014]根据本技术一些实施例的解理装置，所述密闭装置还设置有连通于所述空腔的气体接口，所述气体接口连接有气体管道，所述气体管道上设置有阀门，所述阀门用于切换所述气体管道的通断。
[0015]根据本技术一些实施例的解理装置，所述密闭装置还设置有气压表，所述气压表用于测量并显示所述空腔内的气压。
[0016]根据本技术一些实施例的解理装置，还包括显示器，所述显示器电连接于所述压力检测器，所述显示器位于所述密闭装置的外部，用于显示所述压力检测器的数值。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例的解理装置的示意图；
[0019]图2为本技术另一实施例的解理装置的示意图。
[0020]附图标记：
[0021]承载机构100，载台120，工作面121，限位件130，安装腔131，腔壁132，开口133，压力检测器140，显示器150，温控仪160；
[0022]按压机构200，按压台210，连接件220，光杆221，丝杆222，驱动件230，支架240；
[0023]密闭装置300，空腔310，密封口320，密封件330，真空接口340，气体接口350，气压表360，航空接头370；
[0024]抽真空装置400，真空管道410。
具体实施方式
[0025]以下将结合实施例对本技术的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。
[0026]在本技术实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便
于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本技术实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0028]图1本技术实施例的解理装置的示意图，参考图1，本技术实施例的解理装置，包括承载机构100和按压机构200，承载机构100包括限位件130、载台120和压力检测器140，载台120具有工作面121，工作面121用于承载待按压的衬底，限位件130对应于按压台210的位置具有安装腔131，载台120和压力检测器140位于安装腔1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种解理装置，其特征在于，包括：承载机构，包括限位件、载台和压力检测器，所述载台具有工作面，所述工作面用于承载待按压的衬底，所述限位件具有安装腔，所述载台和所述压力检测器位于所述安装腔中，所述安装腔的腔壁限制所述载台在垂直于所述工作面的方向运动，所述限位件对应于所述工作面设置有连通于所述安装腔的开口；按压机构，包括按压台、连接件和驱动件，所述按压台连接于所述连接件且在垂直于所述工作面的方向对齐于所述载台，所述驱动件用于驱动所述连接件沿垂直于所述工作面的方向移动所述按压台，所述按压台用于获取附有二维材料的胶带并将所述胶带按压至所述衬底上，所述载台位于所述压力检测器和所述按压台之间，所述压力检测器用于检测所述按压台对所述载台的压力。2.根据权利要求1所述的解理装置，其特征在于，所述安装腔具有圆柱形的腔壁，且所述腔壁的轴线垂直于所述工作面；所述载台具有圆柱形的外壁，所述载台与所述安装腔同轴设置，所述外壁贴合于所述腔壁且能够沿所述腔壁滑动。3.根据权利要求1所述的解理装置，其特征在于，所述载台具有加热模块，用于加热所述工作面上的所述衬底。4.根据权利要求3所述的解理装置，其特征在于，所述加热模块包括加热器和温控仪，所述加热器设置于所述载台的内部，所述加热器能够通电加热，用于加热所述载台以对所述工作面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：史刚，吴超，陈千雪，张立源，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：