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本实用新型提供一种对位检测装置包括：载台，载台适于承载半导体器件，半导体器件上下两侧分别具有第一对准标识和第二对准标识；分别位于载台的上下两侧的检测光发射部件和检测光接收部件，检测光发射部件适于朝向载台发射检测光，检测光接收部件适于接收穿过...
该专利属于安徽华晟新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽华晟新能源科技有限公司授权不得商用。

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