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晶圆自动测试系统的开放式测试头技术方案
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下载晶圆自动测试系统的开放式测试头的技术资料
文档序号:32724904
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一种晶圆自动测试系统的开放式测试头,系由固定支架辅助,将弹簧针介面模组及仪器机箱设置于晶圆自动探针台上方,快速建构一种无机柜的晶圆自动测试系统,既可缩减晶圆自动测试系统的重量与体积,节省厂房空间使用,且仪器机箱可以近距离电连接弹簧针介面模组...
该专利属于利亘通国际有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过利亘通国际有限公司授权不得商用。
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