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微加工装置，例如扫描电子显微镜或聚焦离子束显微镜等，提供图像。使用依顺序耦合的第一机器学习算法(151)和第二机器学习算法(152)。第一机器学习算法(151)基于与工作流程相关联的图像中的特征识别来决定预定义工作流程中的进度，而第二机器学...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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