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本实用新型涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置，包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等，其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区，蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发...
该专利属于北京胜泰东方科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京胜泰东方科技有限公司授权不得商用。

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