一种新型的Parylene真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种新型的Parylene真空镀膜装置，包括一体化蒸发裂解室、内置裂解加热器、蒸发区温控器、裂解区保护温控器、镀膜室、低温冷阱系统、真空系统和测控系统等，其中一体化蒸发裂解室分为蒸发区和裂解区，蒸发区和裂解区的外部分别设有蒸发区温控器和裂解区保护温控器；内置裂解加热器的加热部位于一体化蒸发裂解室内，且加热部包括与蒸发区对应的蒸发加热区和与裂解区对应的裂解加热区；一体化蒸发裂解室与镀膜室、低温冷阱系统、真空系统依次连接，测控系统控制一体化蒸发裂解室、镀膜室、低温冷阱系统和真空系统的工作状态。本实用新型专利技术有效降低了镀膜设备总长度，减少了设备加热过程的耗时和加热功耗，缩短了镀膜作业时间。膜作业时间。膜作业时间。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的Parylene真空镀膜装置


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及到一种新型的Parylene真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]Parylene(中文名：聚对二甲苯)是一种保护性高分子聚合物材料的通常称呼，根据分子结构的不同，可分为N型、C型、D型、F型、HT型等多种类型。Parylene膜层可在真空环境下通过气相沉积生成，Parylene裂解后的活性分子具有良好穿透能力，能够在表面形状复杂的工件表面及其细小通孔等位置形成真正厚度均匀的无针孔覆型。Parylene材料涂层具有很好的电气性能、热性能、化学稳定性和生物相容性，膜层可抵御酸碱、盐雾、霉菌、紫外及各种腐蚀性气件的侵害，被广泛应用于航空航天、电子工业、生物医疗、海洋环境和文物保护等方面。作为一种环保镀膜工艺，随着Parylene材料的成本大幅度降低和工艺的日益成熟，近些年Parylene镀膜的应用已经突破实验室和局部高端产品的应用阶段，逐渐转向大规模生产线和行业应用，其中电子行业尤为突出，同时也带动了生物医疗、海洋领域的积极应用，具有广泛的市场前景和巨大经济效益本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的Parylene真空镀膜装置，其特征在于，包括一体化蒸发裂解室(1)、内置裂解加热器(2)、温控进料门(3)、物料舟(4)、蒸发区温控器(5)、裂解区保护温控器(6)、连接法兰(7)、镀膜室(8)、电机机构(9)、工件架(10)、低温冷阱系统(11)、真空系统(12)、前级真空规(13)、镀膜室真空规(14)和测控系统(15)；所述一体化蒸发裂解室(1)分为蒸发区和裂解区，所述蒸发区的外部设有用于对蒸发区进行温控的蒸发区温控器(5)，所述裂解区的外部设有用于对裂解区的外部区域进行温度保护的裂解区保护温控器(6)；所述一体化蒸发裂解室(1)靠近所述蒸发区的一端设有供所述物料舟(4)进入所述蒸发区的温控进料门(3)和供所述内置裂解加热器(2)的加热部伸入所述一体化蒸发裂解室(1)的通孔，所述内置裂解加热器(2)的端部通过真空法兰和密封圈安装在所述通孔上，且所述内置裂解加热器(2)的加热部包括与所述蒸发区对应的蒸发加热区和与所述裂解区对应的裂解加热区，所述裂解加热区为Parylene材料的裂解提供所需的温度，所述蒸发加热区通过所述裂解加热区的热传导升温至所述蒸发区的工作温度范围；所述一体化蒸发裂解室(1)靠近所述裂解区的一端通过所述连接法兰(7)与所述镀膜室(8)连通，所述电机机构(9)安装固定在所述镀膜室(8)上，位于所述镀膜室(8)内的工件架(10)与所述电机机构(9)的驱动端固定连接，所述镀膜室(8)通过真空管道依次与所述低温冷阱系统(11)、所述真空系统(12)连接，所述前级真空规(13)设置在所述低温冷阱系统(11)与所述真空系统(12)之间的真空管道上，所述镀膜室真空规(14)设置在所述镀膜室(8)上；所述测控系统(15)用于采集所述前级真空规(13)和所述镀膜室真空规(14)的真空度数据以及控制所述真空系统(12)的工作状态，还用于控制所述内置裂解加热器(2)、所述温控进料门(3)、所述蒸发区温控器(5)、所述裂解区保护温控器(6)的工作温度、所述低温冷阱系统(11)的制冷温度以及所述电机机构(9)的运动。2.根据权利要求1所述的一种新型的Parylene真空镀膜装置，其特征在于，所述内置裂解加热器(2)包括所述端部和与所述端部一体化连接的所述加热部，所述加热部包括壳体(2
‑
9)、裂解加热棒(2
‑
6)、温度传感器(2
‑
8)和气体冷却管(2
‑
4)；所述壳体(2
‑
9)内的隔离块(2
‑
5)将所述加热部分成蒸发加热区和裂解加热区，所述裂解加热棒(2
‑
6)和所述温度...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志胜，王晓冬，邹俊峰，
申请(专利权)人：北京胜泰东方科技有限公司，
类型：新型
国别省市：