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本实用新型公开了一种提高PVD镀膜机镀膜均匀性的屏蔽罩，包括真空仓、屏蔽罩以及气管结构，所述真空仓内部设置有支撑板，所述支撑板表面设置有固定板，所述固定板设置在屏蔽罩两侧，所述屏蔽罩内腔设置有气管结构，所述气管结构包括进气管和出气管，所述进...
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