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本发明公开了一种抛光模组故障处理方法、装置及抛光设备，该方法包括：获取抛光模组的故障数据信息及所述抛光模组内晶圆的当前晶圆状态；对故障数据信息进行分析，得到故障类型；根据故障类型和所述当前晶圆状态进行故障处理。本发明通过对故障数据信息进行分...
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