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一种用于半导体真空阀门真空测试的装置制造方法及图纸
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下载一种用于半导体真空阀门真空测试的装置的技术资料
文档序号:32668114
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本发明公开了一种用于半导体真空阀门真空测试的装置,属于半导体测试领域,本发明设置在真空阀门上,真空阀门的前壁、后壁上设置有前气孔、后气孔,装置包括前密封板、后密封板、前真空连接转换管、后真空连接转换管,前密封板的中心位置设有与前气孔连通的前...
该专利属于江苏佳晟动力系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏佳晟动力系统有限公司授权不得商用。
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